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 Improvement of Line Width Roughness and Line Edge Roughness for Ultrascaled Finfet Technologies 超大规模Finfet技术线宽粗糙度和线边缘粗糙度的改善
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期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Xin Jiang; Haiyang Zhang 出版日期：2018-04-13 |
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