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 Holographic fabrication of two-dimensional scale gratings for surface encoder by using an orthogonal type two-axis Lloyd's mirror interference lithography 相关领域
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| DOI |
10.1117/12.2512193
doi
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| 其它 |
期刊：Tenth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation 作者：Xinghui Li; Haiou Lu; Weihan Yuan; Qian Zhou; Kai Ni; et al 出版日期：2019-03-07 |
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