Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Platinum Using (Methylcyclopentadienyl)trimethylplatinum and Ozone

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标题	Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Platinum Using (Methylcyclopentadienyl)trimethylplatinum and Ozone
网址	http://dx.doi.org/10.1021/jp403455a
DOI	10.1021/jp403455a doi
其它	期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Jolien Dendooven; Ranjith K. Ramachandran; Kilian Devloo-Casier; Geert Rampelberg; Matthias Filez; et al 出版日期：2013-09-26
求助人	LinqiangQuan 在 2026-10-15 20:10:33 发布自江苏，悬赏 10 积分
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