Direct Measurements and Analysis of Catalyst Diffusion and Reaction Fronts in Chemically Amplified Resists

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标题	Direct Measurements and Analysis of Catalyst Diffusion and Reaction Fronts in Chemically Amplified Resists
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.6c02591
DOI	10.1021/acs.chemmater.6c02591 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Christopher M. Bottoms; Tanguy Terlier; Manolis Doxastakis; Gila E. Stein 出版日期：2026-10-16
求助人	热潮在 2026-10-27 17:14:11 发布自河南，悬赏 10 积分
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