Mechanisms of stress control in SiNx membranes under gas cluster ion beam irradiation

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标题	Mechanisms of stress control in SiNx membranes under gas cluster ion beam irradiation
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/6.00050...
DOI	10.1116/6.0005076 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Masaya Takeuchi; Noriaki Toyoda 出版日期：2026-02-02
求助人	yue 在 2026-10-28 15:03:46 发布自上海，悬赏 10 积分
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