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 High sensitivity MEMS vibration sensors based on LiNbO3 ferroelectric single-crystal films 相关领域
材料科学
微电子机械系统
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期刊：Ceramics International 作者：Huiyi Zhang; Xiaohuang Li; Xiaojun Qiao; Huifen Wei; Kaixi Bi; et al 出版日期：2025-02-27 |
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