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  Fabrication of a New Air-Gap FBAR on an Organic Sacrificial Layer through an Innovative Design Algorithm 通过创新设计算法在有机牺牲层上制备新型气隙FBAR
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期刊：Applied Sciences 作者：Giovanni Niro; Ilaria Marasco; Francesco Rizzi; A. D’Orazio; Marco Grande; et al 出版日期：2023-01-18 |
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