Experimental study on the multiscale surface morphology of femtosecond laser polishing of silicon carbide ceramics based on inclination angle effect

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标题	Experimental study on the multiscale surface morphology of femtosecond laser polishing of silicon carbide ceramics based on inclination angle effect 相关领域抛光碳化硅材料科学陶瓷形态学（生物学）飞秒激光器复合材料曲面（拓扑）光学几何学地质学物理数学古生物学
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.111978
DOI	10.1016/j.optlastec.2024.111978 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Jianbo Chen; Xiaoxiao Chen; Xuanhua Zhang; Yuhang Zhou; Chengnuo Yi; et al 出版日期：2024-10-30
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