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 Increased selectivity in area-selective ALD by combining nucleation enhancement and SAM-based inhibition 通过结合成核增强和基于SAM的抑制提高区域选择性ALD的选择性
相关领域
原子层沉积
选择性
成核
材料科学
单层
化学工程
纳米技术
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化学
催化作用
有机化学
生物化学
基因
工程类
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期刊：Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources 作者：Camila de Paula; Dara Bobb-Semple; Stacey F. Bent 出版日期：2021-01-08 |
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