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 Enhancement of both dielectric and ferroelectric performances in TiN/Al2O3/Hf1-Zr O2/TiO2/TiN -based 3D capacitors 提高Ti/Al 2 O3/Hf 1-ZrO 2/TiO 2/Ti/Ti基3D电容器的介电和铁电性能
相关领域
锡
铁电性
电容器
电介质
材料科学
光电子学
冶金
电气工程
电压
工程类
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期刊： 作者：Xinzhe Du; Hong Zhu; Shengchun Shen; Yuewei Yin; Xiaoguang Li 出版日期：2025-04-01 |
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