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![]() 面对面退火溅射AlN/纳米图案蓝宝石衬底模板上气相生长AlN的微纳米结构分析
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期刊:Journal of Electronic Materials 作者:Yudai Nakanishi; Yusuke Hayashi; Takeaki Hamachi; Tetsuya Tohei; Yoshikata Nakajima; et al 出版日期:2023-03-29 |
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pahnky
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