Enhancing β-Ga2O3-film ultraviolet detectors via RF magnetron sputtering with seed layer insertion on c-plane sapphire substrate

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标题	Enhancing β-Ga2O3-film ultraviolet detectors via RF magnetron sputtering with seed layer insertion on c-plane sapphire substrate c面蓝宝石衬底射频磁控溅射增强β-Ga2O3薄膜紫外探测器相关领域材料科学响应度暗电流光电子学紫外线基质（水族馆）蓝宝石 X射线光电子能谱溅射沉积光电探测器薄膜分析化学（期刊）光学溅射纳米技术核磁共振物理地质学化学激光器海洋学色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/ad0f57
DOI	10.1088/1361-6528/ad0f57 doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Guo Dong Wang; Haohan Wang; Tingyu Chen; Yanji Feng; Hua Zeng; et al 出版日期：2023-12-12
求助人	Mic 在 2025-03-20 21:15:59 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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