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 Investigation of Reducing Bow during High Aspect Ratio Trench Etching in 3D NAND Flash Memory 三维NAND闪存高纵横比沟槽刻蚀过程中减小弓形的研究
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期刊： 作者：Ye Yuan; Zhiliang Xia; Lipeng Liu; Zongliang Huo 出版日期：2018-10-01 |
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