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Opportunity to use inert gas flow for control of qualitative characteristics of the grown silicon single crystals
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DOI
10.17073/1609-3577-2019-3-158-167 doi
其它 期刊:Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering
作者:T. V. Kritskaya; V. N. Zhuravlev; V. S. Berdnikov
出版日期:2020-01-19
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