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标题
Growth of homoepitaxial single crystal diamond by microwave plasma CVD in H2-CH4-O2 gas mixtures at high microwave power densities
高功率密度H2-CH4-O2混合气中微波等离子体CVD生长同质外延金刚石单晶
相关领域
微波食品加热 等离子体 化学气相沉积 离子源 钻石 单晶 微波功率 材料科学 化学 原子物理学 光电子学 物理 结晶学 复合材料 有机化学 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.diamond.2024.111721 doi
其它 期刊:Diamond and Related Materials
作者:A. P. Bolshakov; V. Yu. Yurov; И. А. Федорова; Artem Martyanov; Pavel V. Fedotov; et al
出版日期:2024-10-01
求助人
racz 在 2025-01-14 15:17:02 发布自湖北,悬赏 10 积分
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