| 标题 |
 A yield prediction model and cost of ownership for productivity enhancement beyond imec 5nm technology node 相关领域
可制造性设计
节点（物理）
可扩展性
产量（工程）
过程（计算）
生产力
计算机科学
可靠性工程
工程类
材料科学
电气工程
数据库
操作系统
结构工程
宏观经济学
经济
冶金
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| DOI |
10.1117/12.2617415
doi
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| 其它 |
期刊：DTCO and Computational Patterning 作者：Yi-Pei Tsai; Yi-Han Chang; Jane Wang; Darko Trivkovic; Kurt Ronse; et al 出版日期：2022-05-27 |
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