Silicon anisotropic etching in alkaline solutions II on the influence of anisotropy on the smoothness of etched surfaces

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标题	Silicon anisotropic etching in alkaline solutions II on the influence of anisotropy on the smoothness of etched surfaces
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00142-3
DOI	10.1016/s0924-4247(98)00142-3 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Irena Zubel 出版日期：1998-10-01
求助人	舒心易烟在 2026-08-07 16:42:23 发布自上海，悬赏 10 积分
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