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Research on diameter control of Czochralski Silicon Single Crystal based on PSO parameter tuning for RNN-PFDL-MFAC |
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| DOI |
10.1117/12.3010748
doi
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期刊: 作者:Shengzhe Xu; Dedong Gao; Shan Wang; Haohao Wu; Haixin Lin; et al 出版日期:2023-11-02 |
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(2025-6-4)