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标题
Effect of Crucible/Crystal Rotation on the Transport of Phosphorus Dopant During N-Type Monocrystalline Silicon Growth Via Czochralski Technique
相关领域
单晶硅 坩埚(大地测量学) 掺杂剂 材料科学 旋转(数学) 直拉法 晶体生长 结晶学 冶金 光电子学 兴奋剂 化学 几何学 数学 计算化学
网址
DOI
10.2139/ssrn.5365377 doi
其它 期刊:Elsevier BV
作者:Haowen Yu; Junling Ding; Junlei Wang; Pengfei Wang
出版日期:2025-01-01
求助人
车车 在 2026-08-20 10:09:38 发布自陕西,悬赏 10 积分
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    车车 车车 Lv52 求助人 发起了本次求助

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