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标题
Large area metalens and AR waveguides fabricated by DUV KrF lithography via intelligent proximity correction (IPC)
基于智能邻近校正（IPC）的DUV KrF光刻制造大面积金属透镜和AR波导
相关领域
平版印刷术 材料科学 光电子学 电子束光刻 光学 抵抗 纳米技术 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.3057618
DOI
10.1117/12.3057618 doi
其它 期刊：
作者：Hsuehli Liu; Pokai Chang; Peiyu Fang; S. Su; Peichen Yu
出版日期：2025-02-21
求助人
活泼的乐枫 在 2025-05-20 16:40:03 发布自北京，悬赏 20 积分
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