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标题
Controllable synthesis of core-shell SiO2@CeO2 composite abrasives for chemical mechanical polishing of EMC-Si-Cu multi-heterointerfaces
用于EMC-Si-Cu多异质界面化学机械抛光的核壳SiO2@CeO2复合磨料的可控合成
相关领域
抛光 化学机械平面化 复合数 材料科学 芯（光纤） 复合材料 壳体（结构） 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2025.130509
DOI
10.1016/j.matchemphys.2025.130509 doi
其它 期刊：Materials Chemistry and Physics
作者：Jiale Zhang; Xiaohu Qu; Jianhang Yin; Ning Wang
出版日期：2025-02-01
求助人
学术学习 在 2025-06-23 12:37:19 发布自浙江，悬赏 10 积分
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