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 Ultraprecision CMP for sapphire, GaN, and SiC for advanced optoelectronics materials 先进光电材料中蓝宝石、GaN和SiC的超精密CMP
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期刊：Current Applied Physics 作者：Hideo Aida; Toshiro Doi; Hideo Aida; Haruji Katakura; Seong-Woo Kim; et al 出版日期：2012-09-01 |
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