Thin resist process having high dry-etching resistance in 0.13-μm KrF lithography

求助中

文献求助详情

标题	Thin resist process having high dry-etching resistance in 0.13-μm KrF lithography 相关领域抵抗干法蚀刻光刻胶材料科学蚀刻（微加工）反应离子刻蚀光刻平版印刷术纳米技术光电子学复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.436890
DOI	10.1117/12.436890 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Minoru Watanabe; Suguru Sasaki; Sachiko Yabe; Takashi Taguchi 出版日期：2001-08-24
求助人	沐雨疏桐在 2025-10-27 10:55:25 发布自吉林，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
5小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:55:31 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

10:55:27 科研通AI机器人（日本东京）收到请求，开始寻找文献

10:55:25 已向机器人发送请求
5小时前

沐雨疏桐 Lv7 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI5上传了应助文件

1秒前; 英姑的应助被秋秋采纳，获得10

1秒前; Evooolet关闭了Evooolet的文献求助

1秒前; 科研通AI5的应助被下雨采纳，获得10

1秒前; 赘婿的应助被奥沙利楠采纳，获得10

2秒前; 结实芝麻完成签到，获得积分10

2秒前; 英俊的铭的应助被杠杠五行缺水采纳，获得30

2秒前; dog发布了新的文献求助10

3秒前; 李爱国的应助被沉默的霆采纳，获得10

3秒前; 不倦上传了应助文件

3秒前; Amy发布了新的文献求助10

3秒前; 芝麻糊发布了新的文献求助10

4秒前; 花Cheung发布了新的文献求助10

4秒前; lalala发布了新的文献求助10

4秒前; 无花果上传了应助文件

5秒前; Howe完成签到，获得积分10

5秒前; 幼儿园抢饭第一名发布了新的文献求助10

5秒前; wop111的应助被可乐包饭采纳，获得30

5秒前; yar完成签到，获得积分0

5秒前; 浮游的应助被木偶采纳，获得10

6秒前; ding的应助被刘佳恬采纳，获得10

6秒前; 乐乐上传了应助文件

7秒前; 典雅的初蓝发布了新的文献求助10

8秒前; 善学以致用上传了应助文件

8秒前; 丘比特上传了应助文件

9秒前; CH完成签到，获得积分10

9秒前; 没事别读博了发布了新的文献求助10

9秒前; 科研通AI6上传了应助文件

9秒前; 脑洞疼上传了应助文件

9秒前; 乐乐的应助被咻咻采纳，获得10

10秒前; zcl上传了应助文件

10秒前; Jerry发布了新的文献求助20

10秒前; 所所的应助被Hermy采纳，获得10

10秒前; Ava的应助被Amy采纳，获得10

10秒前; salokim完成签到，获得积分10

11秒前; 今后上传了应助文件

11秒前; 科目三的应助被毒蕈碱采纳，获得10

11秒前; 阳光的小土豆完成签到，获得积分10

11秒前; zhang完成签到，获得积分10

11秒前; 高yq发布了新的文献求助10

11秒前