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 Effect of deposition temperature on microstructure and corrosion resistance of ZrN thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering 沉积温度对直流反应性磁溅沉积ZrN薄膜显微结构和耐腐蚀性的影响
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期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Daiane Roman; Juliane Carla Bernardi; C.L.G. Amorim; Fernando S. de Souza; Almir Spinelli; et al 出版日期：2011-07-09 |
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