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 Role of a cyclopentadienyl ligand in Hf precursors using H2O or O3 as oxidant in atomic layer deposition 环戊二烯基配体在原子层沉积中以H2O或O3为氧化剂的Hf前体中的作用
相关领域
原子层沉积
环戊二烯基络合物
图层（电子）
沉积（地质）
配体（生物化学）
化学
无机化学
地质学
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受体
催化作用
沉积物
生物化学
古生物学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Youngmin Song; H. S. Kim; Soo Hyun Lee; Sujin Kwon; Bonggeun Shong; et al 出版日期：2025-03-01 |
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