xperimental and modeling investigation on charged particle dynamics and electron power absorption mode in 400 kHz/27.2 MHz dual-frequency capacitively coupled argon discharges

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标题	xperimental and modeling investigation on charged particle dynamics and electron power absorption mode in 400 kHz/27.2 MHz dual-frequency capacitively coupled argon discharges
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/adc331
DOI	10.1088/1361-6595/adc331 doi
求助人	shengse 在 2026-09-03 10:48:12 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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