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标题
Analysis of plasma etching resistance for commercial quartz glasses used in semiconductor apparatus in fluorocarbon plasma
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2021.125015
DOI
10.1016/j.matchemphys.2021.125015 doi
求助人
0629gw 在 2026-09-03 18:33:22 发布自浙江，悬赏 10 积分
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