Electrical Properties of Thermally and Laser Annealed Polycrystalline Silicon Films Heavily Doped with Arsenic and Phosphorus

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标题	Electrical Properties of Thermally and Laser Annealed Polycrystalline Silicon Films Heavily Doped with Arsenic and Phosphorus
网址	https://doi.org/10.1149/1.2124299
DOI	10.1149/1.2124299 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：S. Solmi; M. Severi; R. Angelucci; L. Baldi; R. Bilenchi 出版日期：1982-08-01
求助人	tamogo 在 2026-06-25 14:42:28 发布自陕西，悬赏 10 积分
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