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标题
Combined analysis methods for investigating titanium and nickel surface contamination after plasma deep etching
钛和镍等离子体深蚀后表面污染的联合分析方法
相关领域
X射线光电子能谱 蚀刻（微加工） 钛 材料科学 钝化 扫描电子显微镜 感应耦合等离子体 镍 纳米技术 等离子清洗 化学工程 等离子体 冶金 分析化学（期刊） 图层（电子） 化学 复合材料 环境化学 工程类 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1002/sia.7030
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.science hal.sciencedoi.org
DOI
10.1002/sia.7030 doi
其它 期刊：Surface and Interface Analysis
作者：Rim Ettouri; Thomas Tillocher; Philippe Lefaucheux; Bertrand Boutaud; Vincent Fernandez; et al
出版日期：2021-11-11
求助人
行之 在 2025-07-08 17:43:22 发布，悬赏 10 积分
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