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 Comments on mechanisms for self-E → H and inverse H → E mode transitions in radio frequency inductively coupled plasmas 射频电感耦合等离子体自E→H和逆H→E模跃迁机制评述
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Yuanzhe Zhao; Zhenfeng Ding 出版日期：2022-08-01 |
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