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 Single-crystalline LiNbO3 integrated onto Si-based substrates via Ar plasma-activated low-temperature direct bonding 相关领域
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期刊：Journal of Physics D 作者：R. T. Huang; Mingzhi Tang; Wanyu Kan; Hao Xu; W. Kai; et al 出版日期：2023-10-02 |
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