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标题
Effect of atomic-layer-deposition sequence on the composition of indium-zinc-tin oxide thin films and its effect on thin-film transistor characteristics
原子层沉积顺序对铟锌锡氧化物薄膜成分的影响及其对薄膜晶体管特性的影响
相关领域
原子层沉积 薄膜 图层(电子) 材料科学 薄膜晶体管 氧化铟锡 沉积(地质) 氧化物 冶金 纳米技术 沉积物 生物 古生物学
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2025.140714 doi
求助人
袋鼠 在 2025-08-21 13:00:52 发布自江苏,悬赏 10 积分
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  • 1年前

    袋鼠 袋鼠 Lv6 求助人 发起了本次求助

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