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  Simulation of Phosphorus Implantation into Silicon with a Single Parameter Electronic Stopping Power Model 用单参数电子停止功率模型模拟硅中磷的注入
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期刊：International Journal of Modern Physics C 作者：David Cai; Charles M. Snell; Keith M. Beardmore; Niels Grønbech-Jensen 出版日期：2003-10-06 |
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