Properties of SiO2 and Al2O3 films for electrical insulation applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering - 科研通

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标题	Properties of SiO2 and Al2O3 films for electrical insulation applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering 反应脉冲磁控溅射电绝缘用SiO2和Al2O3薄膜的性能相关领域材料科学溅射基质（水族馆）沉积（地质）溅射沉积脉冲直流薄膜电介质腔磁控管电阻率和电导率分析化学（期刊）复合材料光电子学纳米技术电气工程化学生物海洋学地质学工程类古生物学色谱法沉积物
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S02578...
DOI	10.1016/S0257-8972(03)00384-0 doi
求助人	王添赟在 2025-07-29 18:16:30 发布自江苏，悬赏 10 积分
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