An introduction to microfabrication

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标题	An introduction to microfabrication 相关领域微加工聚二甲基硅氧烷光刻微接触印刷平版印刷术材料科学微流控纳米技术 PDMS印章软光刻蚀刻（微加工）光电子学制作病理医学替代医学图层（电子）
网址	https://academic.oup.com/book/46764/chapter-abstract/4133630...
DOI	10.1093/oso/9780192845306.003.0007 doi
求助人	星光在 2025-10-11 21:50:34 发布自广东，悬赏 10 积分
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