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Evaluating of Adhesion Property of ULSI Interconnect Films by the Surface Acoustic Waves
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材料科学 基质（水族馆） 声表面波 复合材料 粘附 薄膜 色散（光学） 曲率 互连 模数 弹簧（装置） 声学 光学 纳米技术 计算机科学 结构工程 电信 物理 几何学 地质学 工程类 海洋学 数学
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0256-307X/27/1/01...
DOI
10.1088/0256-307x/27/1/018502 doi
其它 期刊：Chinese Physics Letters
作者：X. Xia; Shan Xing-meng; Ya-Liang Liu
出版日期：2010-01-01
求助人
不安的海云 在 2026-09-23 09:29:24 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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