Re-examination of the Aqueous Stability of Atomic Layer Deposited (ALD) Amorphous Alumina (Al2O3) Thin Films and the Use of a Postdeposition Air Plasma Anneal to Enhance Stability

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标题	Re-examination of the Aqueous Stability of Atomic Layer Deposited (ALD) Amorphous Alumina (Al2O3) Thin Films and the Use of a Postdeposition Air Plasma Anneal to Enhance Stability
网址	https://doi.org/10.1021/acs.langmuir.1c02574
DOI	10.1021/acs.langmuir.1c02574 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Simon A. Willis; Emily K. McGuinness; Yi Li; Mark D. Losego 出版日期：2021-12-01
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