Reactive DC magnetron sputter deposited copper nitride nano-crystalline thin films: Growth and characterization

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标题	Reactive DC magnetron sputter deposited copper nitride nano-crystalline thin films: Growth and characterization
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X1...
DOI	10.1016/j.vacuum.2011.09.001 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：F. Hadian; A. Rahmati; H. Movla; M. Khaksar 出版日期：2011-11-05
求助人	hck 在 2026-03-30 17:18:23 发布自湖北，悬赏 10 积分
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