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 Chemical Mechanical Polishing for SiO2 Film Using Polystyrene@ceria (PS@CeO2) Core–Shell Nanocomposites 使用聚苯乙烯@二氧化二铝（PS@CeO2）核壳纳米复合材料对SiO2薄膜进行化学机械抛光
相关领域
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期刊：Journal of Inorganic and Organometallic Polymers and Materials 作者：Ailian Chen; Yayun Wang; Jiawei Qin; Zefeng Li 出版日期：2015-06-23 |
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