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 Chemical reaction-mass transport model of Ga2O3 grown by TEGa in MOCVD and an intelligent system MOCVD中TEGa生长Ga2O3的化学反应-传质模型及智能系统
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Jie Wang; Tiecheng Luo; Yi-cong He; Gang Wang 出版日期：2023-06-15 |
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