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标题
Suppression of SiO x interfacial layer growth for the ferroelectric nondoped HfO 2 formation utilizing ECR-plasma sputtering
网址
http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/ae9559
DOI
10.35848/1347-4065/ae9559 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：S. Ohmi; Y. Shimada; S. -F. Liang; K. Yamamoto; Y. Shimazaki; et al
出版日期：2026-08-21
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zzk 在 2026-09-22 15:26:25 发布自山东，悬赏 10 积分
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