The effect of thermal annealing on the surface roughness and optical properties of periodic Mo/Si multilayers with TiO2 layer for EUV application

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标题	The effect of thermal annealing on the surface roughness and optical properties of periodic Mo/Si multilayers with TiO2 layer for EUV application
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3069758
DOI	10.1117/12.3069758 doi
求助人	Twelve 在 2026-05-28 15:21:24 发布自上海，悬赏 10 积分
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