计算机科学 平版印刷术 鉴别器 发电机（电路理论） 激光器 下一代光刻 编码器 光学接近校正 计算光刻 光刻 结构光 电子工程 吞吐量 反演（地质） 浸没式光刻 趋同（经济学） 临界尺寸 算法 反向 空间映射 多目标优化 维数（图论） 直线（几何图形） 微调 匹配（统计） 电子束光刻 相似性（几何） 规范化（社会学） 计算机工程 近似误差