A hard mask process and alignment device aims to achieve high consistency and mass-scale production of gas sensors based on spraying hydrothermal gas sensing material

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标题	A hard mask process and alignment device aims to achieve high consistency and mass-scale production of gas sensors based on spraying hydrothermal gas sensing material
网址	https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-pdf/doi/10.1063/5.01554...
DOI	10.1063/5.0155416 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：YanKun Tang; Penghui Lai; Zongxin Hu; Yu Luo; Hairong Wang; Lingmin Yu 出版日期：2023-10-16
求助人	乐可乐在 2026-03-13 18:49:08 发布自山东，悬赏 10 积分
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