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标题
Oxidant-driven growth and crystallization of MoOx in H2-gas-free thermal atomic layer deposition using a high-volatility liquid Mo precursor
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0005336
DOI
10.1116/6.0005336 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Nu Ri Kim; Yeo-Bin Youn; Se Won Yoon; Jae Woo Baek; Kyong Jun Sun; et al
出版日期：2026-03-27
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