EUV M3D parameter prediction of curvilinear mask patterns by convolutional neural networks

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标题	EUV M3D parameter prediction of curvilinear mask patterns by convolutional neural networks
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3090321
DOI	10.1117/12.3090321 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning V 作者：Moe Sugiyama; Masayuki Shimoda; Hiroyoshi Tanabe; Atsushi Takahashi 出版日期：2026-04-10
求助人	jun 在 2026-07-21 15:50:48 发布自安徽，悬赏 20 积分
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