Mo2N as a novel barrier layer to mitigate interface imperfection in (Mo/Si)-based soft x-ray multilayer mirror

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标题	Mo2N as a novel barrier layer to mitigate interface imperfection in (Mo/Si)-based soft x-ray multilayer mirror
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3118536 doi
其它	期刊：Photomask Japan 作者：S. Haque; Yuta Fujisawa; Shunya Uji; M. Toyoda 出版日期：2026-09-23
求助人	aa3294 在 2026-10-19 22:33:44 发布自北京，悬赏 20 积分
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