Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N2/Ar discharges

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标题	Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N2/Ar discharges
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1674-1056/25/10/1...
DOI	10.1088/1674-1056/25/10/105206 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Ying-Shuang Liang; Yu-Ru Zhang; You-Nian Wang 出版日期：2016-08-25
求助人	cyyan 在 2026-09-16 11:36:12 发布自上海，悬赏 10 积分
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