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标题
Multi-objective optimal design of semiconductor cleanroom air-conditioning systems considering load uncertainty and equipment degradation
考虑负荷不确定性和设备退化的半导体洁净室空调系统多目标优化设计
相关领域
洁净室 空调 降级（电信） 半导体器件制造 工艺工程 条件作用 汽车工程 环境科学 可靠性工程 工程类 废物管理 计算机科学 机械工程 电气工程 材料科学 数学 统计 纳米技术 薄脆饼
网址
https://doi.org/10.1016/j.energy.2025.135538
DOI
10.1016/j.energy.2025.135538 doi
其它 期刊：Energy
作者：Wenxuan Zhao; Rongpeng Zhang; Shengwei Wang
出版日期：2025-03-11
求助人
墨川 在 2025-12-30 20:20:07 发布自陕西，悬赏 10 积分
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