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 Polymer effects on PAG acid yield in EUV resists (Conference Presentation) 聚合物对EUV抗蚀剂中PAG酸产率的影响（会议演示）
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期刊： 作者：Steven Grzeskowiak; Greg H. Denbeaux; Robert L. Brainard; Jake Kaminsky; Michael Murphy; et al 出版日期：2018-03-19 |
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